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QZ 05/2014

Zerstörungsfreie Analyse

Schichtdicke von Mehrschichtsystemen online messen

Zerstörungsfreie Analyse

Die Dicke von Schichten auf nichtmetallischen Substraten wird meist zerstörend gemessen. Terahertz-Wellen, die im Spektrum zwischen Infrarotlicht und Mikrowellen liegen, sind oft die bessere Lösung. Misst man die Laufzeitunterschiede der reflektierten Teilwellen, lässt sich daraus die Schichtdicke zerstörungsfrei bestimmen – vor allem bei Mehrschichtsystemen.

Joachim Jonuscheit, Kaiserslautern

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