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QZ 05/2011

Messen, was kaum messbar ist

Multisensor-KMG ermittelt Schichtdicke von Wafern

Messen, was kaum messbar ist

Die am Berliner Ferdinand-Braun-Institut gefertigten Wafer für Diodenlaser und Hochfrequenzverstärker müssen exakt auf eine definierte Schichtdicke geläppt werden. Diesen Prozess überwachen die Mitarbeiter im Reinraum mit einem Multisensor-Koordinatenmessgerät von Werth Messtechnik, Gießen. Das Gerät ist mit einem chromatischen Sensor bestückt, der berührungslos und präzise die erforderlichen Messwerte ermittelt.

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