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QZ 10/2009

Dem Nanometer auf der Spur

Interferometer charakterisieren Mikrostrukturen

Dem Nanometer auf der Spur

Bei der Charakterisierung von Mikrostrukturen stoßen traditionelle Messsysteme an ihre Grenzen. Einen Ausweg bieten das Laser-Vibrometer in Verbindung mit einem technischen Mikroskop sowie die Nanopositionier- und Nanomessmaschine von Sios Meßtechnik, Ilmenau. Damit lassen sich Bewegungen und Oberflächen von Objekten mit einer Auflösung von 0,1 Nanometern messen.

Denis Dontsov | Enrico Langlotz

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