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QZ 09/2010

Mit höchster Genauigkeit

Ausdehnungsmessung mit Picometerpräzision

Mit höchster Genauigkeit

Für die Kalibrierung von Positioniertischen, die mehrdimensionale Messung an Mikroobjekten und die Messung der thermischen Ausdehnung sind genaue und berührungslose Längen- und Winkelmessungen erforderlich. Dafür entwickelte das Ilmenauer Unternehmen Sios Messtechnik Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor mit einem, zwei oder drei Messstrahlen. Die präzisen, störfesten Systeme lassen sich an unterschiedliche Messaufgaben anpassen und werden beispielsweise im Laserdilatometer von Linseis, Selb, eingesetzt.

Wolfgang Pöschel1 | Walter Schott1 | Denys Dontsov1 | Claus Linseis2 | MSc Florian Linseis2 | Hartwig Rädel2
1 Sios
2 Linseis

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