Zweistrahl-Ionenätzer SC-1000
Ätzen in Echtzeit
Zweistrahl-Ionenätzer SC-1000
Als Generalvertretung im deutschsprachigen Raum für Produkte des ungarischen Herstellers Technoorg Linda Ltd. präsentiert EO Elektronen-Optik-Service aus Dortmund den Zweistrahl-Ionenätzer SC-1000. Er beinhaltet sowohl eine hochenergetische als auch eine niederenergetische Ionenquelle. Damit soll er sich für die Präparation von Querschnittsproben durch Böschungsätzen und für die Endpolitur und Endreinigung von REM- und EBSD-Proben eignen. Probenoszillation wie auch 360°-Probenrotation sind mit dem System möglich. Laut Herstellerangaben können die Proben bis zu 1 µm genau positioniert werden. CCD-Kamera und Monitor sollen die Echtzeitüberwachung des Prozesses ermöglichen. Einsatzgebiete sind Forschung und Industrie.
EO Elektronen-Optik-Service GmbH
www.eos-do.de
Halle 1, Stand 1325
EO Elektronen-Optik-Service GmbH
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