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02.12.2002

WYKO NT 3300

Berührungslose 3D-Messung von Oberflächen

WYKO NT 3300

WYKO NT 3300

Das kombinierte Weißlicht- und PhaseShift-Interferometer WYKO NT3300 von Veeco Instruments eignet sich für die berührungslose 3D-Messung von Oberflächen und die Abbildung der Oberflächentopographie. Die Vorzüge dieser Technik liegen in der sekundenschnellen Abbildung, der hohen Auflösung von 0,1nm in z-Richtung und dem großen z-Scanbereich von bis zu 5mm. Mit dem automatischen Stitching-Mode lassen sich bei gleicher lateraler und vertikaler Auflösung größere Probenflächen von mehreren 10cm2 rasternd untersuchen. Möglich sind die beiden Messmodi Phase-Shift-Interferometrie (PSI) zum Messen glatter Oberflächen mit einer vertikalen Auflösung bis zu 0,1nm und Vertikal-Scanning-Interferometrie (VSI) zum Messen von Oberflächenprofilen mit vertikalen Strukturen bis zu

5mm. Das Gerät eignet sich für verschiedene Proben, beispielsweise von Aluminium, Stahl, Keramik, Kunststoffen oder Papier. Einsatzbereiche sind die Grundlagenforschung sowie die Prozesskontrolle und die Fehleranalyse in Bereichen wie Halbleiter, Elektronik und Optik.

Ein eichfähiges optisches Metrologie-Modul (OMM) für berührungslose Topographievermessungen von 0,1nm bis 2mm ergänzt die NT-Serie. Das Modul soll eine hundertprozentige Kontrolle in Produktionen mit hoher Stückzahl ermöglichen. Dabei erlaubt die Ethernet-basierte Architektur ein Verbinden mit dem Rechner zur Fernsteuerung und mit kundeneigener Software.

Das kombinierte Weißlicht- und PhaseShift-Interferometer WYKO NT3300 von Veeco Instruments eignet sich für die berührungslose 3D-Messung von Oberflächen und die Abbildung der Oberflächentopographie. Die Vorzüge dieser Technik liegen in der sekundenschnellen Abbildung, der hohen Auflösung von 0,1nm in z-Richtung und dem großen z-Scanbereich von bis zu 5mm. Mit dem automatischen Stitching-Mode lassen sich bei gleicher lateraler und vertikaler Auflösung größere Probenflächen von mehreren 10cm2 rasternd untersuchen. Möglich sind die beiden Messmodi Phase-Shift-Interferometrie (PSI) zum Messen glatter Oberflächen mit einer vertikalen Auflösung bis zu 0,1nm und Vertikal-Scanning-Interferometrie (VSI) zum Messen von Oberflächenprofilen mit vertikalen Strukturen bis zu

5mm. Das Gerät eignet sich für verschiedene Proben, beispielsweise von Aluminium, Stahl, Keramik, Kunststoffen oder Papier. Einsatzbereiche sind die Grundlagenforschung sowie die Prozesskontrolle und die Fehleranalyse in Bereichen wie Halbleiter, Elektronik und Optik.

Ein eichfähiges optisches Metrologie-Modul (OMM) für berührungslose Topographievermessungen von 0,1nm bis 2mm ergänzt die NT-Serie. Das Modul soll eine hundertprozentige Kontrolle in Produktionen mit hoher Stückzahl ermöglichen. Dabei erlaubt die Ethernet-basierte Architektur ein Verbinden mit dem Rechner zur Fernsteuerung und mit kundeneigener Software.

Unternehmensinformation

Veeco Instruments GmbH Metrology Group

Dynamostr. 19
DE 68165 Mannheim
Tel.: 0621 84210-0
Fax: 0621 84210-22

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