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04.08.2009

Weißlichtinterferometer TMS-300

Großflächige Inline-Topografiemessung

Weißlichtinterferometer TMS-300

Weißlichtinterferometer TMS-300

Neben den klassischen mikroskopbasierten Systemen in der Weißlichtinterferometrie mit hoher lateraler Auflösung bietet Polytec, Waldbronn, Lösungen für große Messfelder an. Diese waren bislang nur durch fehleranfälliges und zeitraubendes Stiching messbar. Mit dem Weißlichtinterferometer TMS-300 können laut Hersteller auch zeitkritische Inline-Aufgaben realisiert werden.

Felder bis zu einer Größe von 40 x 30 mm sind nach Herstellerangaben in einem Durchgang messbar. Ein weiterer Vorteil dieser telezentrischen Systeme ist die Robustheit gegenüber Abschattungseffekten, die Messungen in Bohrungen bis zu 50 mm Tiefe erlaubt. Durch die hohe z-Auflösung von wenigen Nanometern oder besser ist nach Angaben des Herstellers der Einsatz bei geringen Toleranzen möglich. Durch die schnellen Messzeiten können demnach Weißlichtinterferometer auch bei der 100-Prozent-Qualitätskontrolle in der Linie eingesetzt werden.

Unternehmensinformation

Polytec GmbH

Polytec-Platz 1-7
DE 76337 Waldbronn
Tel.: 07243 604-0
Fax: 07243 69944

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