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15.03.2018

Weißlichtinterferometer Smart WLI compact von der Gesellschaft für Bild- und Signalverarbeitung (GBS)

Inline-Applikationen

Weißlichtinterferometer Smart WLI compact (© GBS)

Mit Hochgeschwindigkeitskamera und Berechnung der 3D-Daten auf einer leistungsstarken Grafikkarte ist das Weißlichtinterferometer Smart WLI compact von der Gesellschaft für Bild- und Signalverarbeitung (GBS), Ilmenau, zur höchstauflösenden Inline-Messung von Oberflächenstrukturen und Mikrogeometrien im Sekundentakt optimiert. Der kompakte Aufbau des Sensors mit einer Größe von 210 mm × 58 mm × 105 mm im robusten Aluminiumgehäuse und Scangeschwindigkeiten von bis zu 250 µm/s ermöglichen den Einsatz ohne Schwingungsdämpfung.

Je nach Aufgabe kann der Sensor mit unterschiedlichen Kameras und Objektiven ausgestattet werden. Dabei werden Messfelder bis zu ca. 40 mm² und Punktedichten bis zu 0,1 µm erreicht. Neben Piezo-Aktoren erlaubt der optionale Einsatz mechanischer Präzisionsachsen Höhenmessbereiche bis zu 5 mm.

Auch mit diesem Weißlichtinterferometer können spiegelnde und glänzende Oberflächen mit Höhenauflösung bis zu 0,1 nm gemessen werden. Im Gegensatz zu anderen optischen Messverfahren bleibt die extreme Höhenauflösung auch bei größeren Messfeldern erhalten.

Die Scan Engine Speedytec setzt aufwendige Algorithmen ein, die die Qualität jedes einzelnen Punkts überwachen und die Messungen nahezu senkrechter Flanken ermöglichen. Mit der Rechenpower einer Grafikkarte von mehreren Teraflops erfolgt auch dies in Echtzeit.

GBS Gesellschaft für Bild- u.Signalverarbeitung mbH
www.gbs-ilmenau.de

Unternehmensinformation

GBS Gesellschaft für Bild- u.Signalverarbeitung mbH

Werner-von-Siemens-Str. 10
DE 98693 Ilmenau
Tel.: 03677 623618-0
Fax: 03677 689768-2

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