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12.03.2018

Weißlichtinterferometer Newview 9000 von Zygo

3D-Oberflächen unbeschädigt messen

Unterschiedliche Oberflächen von Präzisionsteilen können mithilfe eines Weißlichtinterferometers zerstörungsfrei gemessen werden. Der modulare Aufbau des Systems erlaubt den Einsatz in vielen Bereichen.

Weißlichtinterferometer Newview 9000 (© Zygo)

Der in Weiterstadt ansässige Prüfgeräte-Hersteller Ametek Germany Geschäftsbereich Zygo führt einen erweiterten Gerätetyp seines Weißlichtinterferometers Newview ein. Das Modell 9000 bietet nach eigenen Angaben den Vorteil, dass flächenhafte Bereiche in sehr kurzer Zeit detailliert vermessen, bewertet und dargestellt werden können und Probenoberflächen beim Messen prinzipiell nicht beschädigt werden.

Das Weißlichtinterferometer hat einen offenen Portalaufbau und einen 150 mm großen XY-Probentisch. In der Z-Achse stehen Variaten mit 100 mm oder 200 mm Verfahrweg zur Verfügung. Diese Gerätevariante arbeitet mit einer schnelleren und flexibleren Kamera und Smart PSI. Wegen des modularen Baukonzepts kann das Gerät optimal auf den Einsatz in der wissenschaftlichen Forschung, der Produkt- und Prozessentwicklung oder in der Massenfertigung abgestimmt werden. Mit ihm können Präzisionsteile – wie Automotive-Komponenten, strukturierte Halbleiter (Wafer), Mikrofluidik-Teile und mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) – mit unterschiedlichen Oberflächentypen erfasst und zahlreiche Parameter wie Rauheit, Planheit, Winkel und Stufen gemessen werden.

Es ist auch möglich, die Schichtdicke von transparenten Schichten zu messen und 2D-Bildverarbeitungsmessungen durchzuführen. Messbar sind Profilhöhen von weniger als 1 nm (10 bis 6 mm) bis 20 000 µm mit einer Sub-Angström-Auflösung in Z-Richtung, unabhängig von Oberflächenstruktur, Vergrößerung oder Höhe. Eine integrierte Schwingungsisolation und die Sure-Scan-Technologie ermöglichen es laut Hersteller, dass auch in vibrationsbelasteter Umgebung extrem präzise Messungen durchgeführt werden können.

Die Steuerung, die Systemkontrolle und die Datenanalyse erfolgen über die Software-Plattform Mx. Die Software ermöglicht eine intuitive Messnavigation und erzeugt genaue Karten der Oberflächentopografie; die Ergebnisse entsprechen der Norm ISO 25178. Zur Geräteausstattung gehören zahlreiche Zubehörteile, darunter automatisierte oder manuelle Achsen, Objektivrevolver und verschiedene Objektive.

Control 2018: Halle 4, Stand 4502

Ametek Germany GmbH Abteilung Zygo
www.zygo.de

Unternehmensinformation

Ametek Germany GmbH Abteilung Zygo

Rudolf-Diesel-Straße 16
DE 64331 Weiterstadt
Tel.: 06150 543-1161
Fax: 06150 543-1500

Internet:www.zygo.de
E-Mail: ZygoInfo.de <AT> ametek.com


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