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11.01.2005

Weisslicht-Interferometer

Oberflächentopographie schnell bestimmen

Weisslicht-Interferometer

Weisslicht-Interferometer

Präzises und schnelles Vermessen strukturierter Oberflächen mit Strukturtiefen bis zu einigen 100µm ermöglicht das Weißlicht-Interferometer des Fraunhofer-Instituts für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena (Vertrieb: Ettemeyer 3D, Ulm). Das System vereint hohe Messgeschwindigkeit und eine Genauigkeit im Bereich von Nanometern mit einem großen Messbereich von einigen hundert Mikrometern. Damit wird laut Vertreiber die Vermessung der Mikrotopographie und Rauigkeit strukturierter Oberflächen möglich, wie z.B. von Ätzstrukturen, mechanisch bearbeiteten Oberflächen, Mikrooptiken, mi-kromechanischen Bauelementen u.v.m. Ebenso ist demnach die Dickenmessung transparenter Schichten mit Schichtdicken >1µm möglich.
Je nach gewünschter Messfläche und Auflösung stehen dem Benutzer verschiedene Objektive mit 5- bis 50facher Vergrößerung zur Verfügung. Dies ergibt Messflächen zwischen 130x130µm und 2,10x 2,10mm, die in einer Position in wenigen Minuten vermessen werden können.
Eine leistungsfähige Auswerte-Software erlaubt die Analyse der gemessenen Topographie nach allen üblichen Kriterien.. Profilschnitte und 3D-Darstellungen sind ebenso möglich wie die Ermittlung von Rauigkeitskennwerten oder mathematische und Filteroperationen mit den gemessenen Daten.
Das System kann ohne Modifikation sowohl im Weißlicht-Interferometer-Modus betrieben werden als auch für noch höhere Genauigkeitsanforderungen im Sub-Nanometer-Bereich als Phasenshift-Interferometer.

Unternehmensinformation

ETTEMEYER 3D Optische 3D Prüftechnik

Bei der Pilzbuche 118
DE 89075 Ulm
Tel.: 0731 7253702
Fax: 0731 7253703

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