VMM300

Hochautomatisierte optische Qualitätsprüfung

Das binokulare Messmikroskop VMM300 von Walter Uhl eignet sich durch leistungsfähige Leica-Optik und hochgenauen Kreuztisch (beides motorisch verfahrbar) sowie die kundenspezifisch konfigurierbare Software-Peripherie für sehr präzise, automatisierte Messungen innerhalb großer Verfahrwege. Es ermöglicht zudem, neben der Darstellung einer Oberfläche an einem PC-Monitor, auch die direkte Objektbetrachtung durch die Okulare.

Auf Grund seines Messbereichs von 350x350mm, einer hohen Auflösung von 0,1µm und einer Genauigkeit von 1,5µm + L/400µm (L in mm) eignet sich das Mikroskop mit koaxialem Auflicht insbesondere für die präzise Prüfung größerer Oberflächen, etwa in der Halbleiterindustrie. So nimmt der Kreuztisch z.B. Wafer bis maximal 12" problemlos auf.
Das Gesamtkonzept ist auf zuverlässige hochautomatisierte Messungen ausgelegt. Daher zeichnet sich das Mikroskop, neben dem motorisch verfahrbaren, wälzlagergeführten Kreuztisch, durch bewährte Komponenten der VMM-Serie aus: motorischer 5fach-Revolver, hochauflösende Auflichtobjektive von Leica (bis 150fach), Dunkelfeldbeleuchtung, Polarisation und Differenzieller Interferenzkontrast (DIC) sowie Kameraadapter mit integriertem Vergrößerungswechsler.

Die Dunkelfeldbeleuchtung liefert ein „Negativabbild“ der Oberfläche, wodurch selbst kleinste Kratzer und Staubpartikel wesentlich deutlicher hervortreten. Mit der Polarisationseinrichtung wiederum lassen sich doppelbrechende Substanzen, etwa Kristalle, besser erkennen. Die dazugehörige Bildverarbeitungs-Software OMS ist in verschiedenen Ausbaustufen lieferbar.