Vega-Serie
3D-Oberflächenanalyse
Die Rasterelektronenmikroskope der Vega-Serie von Tescan s.r.o., Brno/Tschechien (Vertrieb: EO Elektronen-Optik-Service, Dortmund) verfügen über eine 4-Linsen-Elektronenoptik. Damit lassen sich Stereobildpaare oder -tripel direkt über die Ablenkung bzw. Kippung des Elektronenstrahls erzeugen. Durch das Koppeln der Strahlkippung mit der Signalsteuerung eines integrierten 4-Quadranten-Halbleiterdetektors sollen sich Genauigkeit und Tiefenauflösung nochmals erhöhen.
Mit der modularen 3D-Software MeX kann aus den Bildpaaren die Topographie des Objekts online visualisiert oder analysiert werden. Zudem lassen sich Höhenprofile, Rauigkeiten, Flächen und Volumina darstellen und berechnen.
Die Software macht laut Hersteller auch aus vorhandenen REMs ein vollwertiges 3D-Messgerät. So soll sich das Anschaffen eines Topographiemessgeräts oft erübrigen.
EO Elektronen-Optik-Service GmbH
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