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01.07.2003

UL1000 Fab

Heliumlecksucher

UL1000 Fab

UL1000 Fab

Der Heliumleckdetektor UL1000 Fab von Inficon wurde speziell für die Anforderungen des Halbleitermarkts entwickelt: Einfache Bedienung, hohe Mobilität, schnelle Messbereitschaft, kleinste Nachweisgrenzen und ein hohes Maß an Zuverlässigkeit zeichnen den trockenen Lecksucher aus. Damit eignet er sich besonders gut für Reparaturen und Wartungsarbeiten an Halbleiter-Prozessanlagen.

Durch den speziellen Software-Algorithmus I CAL sind mit dem Detektor Leckraten bis 1x10-12mbar l/s rasch und in hoher Stabilität nachweisbar. Die leis-tungsstarke Turbo-Molekularpumpe im Inneren des Dichtheitsprüfgeräts verfügt über ein hohes Kompressionsvermögen und stellt die Messbereitschaft bis zur Erreichung der Rückweisrate schnell wieder her.

Der Detektor wird insbesondere den Anforderungen des Mikroelektronikmarkts, speziell denen von Reinraumanwendungen gerecht. Aus diesem Grund sind alle verwendeten Teile ölfrei und unter ölfreien Bedingungen hergestellt und getestet worden. Weitere Applikationen sind Überprüfungen und Installationen von Prozessgas-Systemen und Dichtheitsprüfung an Komponenten. Ferner eignet sich die Dichtheitsprüfstation für alle Anwendungen, bei denen Saugvermögen und Empfindlichkeit in Verbindung mit sauberen Prüfbedingungen gefordert sind.

Unternehmensinformation

INFICON GmbH

Bonner Str. 498
DE 50968 Köln
Tel.: 0221 56788-0
Fax: 0221 56788

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