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02.04.2012

Transparente Schichten messen

Reflektometer

Das spektroskopische Reflektometer ST2080 von Polytec, Waldbronn, eignet sich für das Messen von OSP-Schichten (Organic Surface Protection) auf rauen Oberflächen wie Kupferleiterbahnen.

Die simultane Messung vieler Spots liefert als Ergebnis die durchschnittliche Schichtdicke sowie ein detailliertes 3D-Oberflächenprofil des 135 Nanometer großen Messflecks. Die minimale Spotgröße liegt je nach Objektiv bei 1,35 bis 0,135 Mikrometern. Für die Messung ist keine Probenvorbereitung nötig. Darüber hinaus ist das System laut Hersteller einfach in der Anwendung und eignet sich deshalb besonders für produktionsnahe Umgebungen. Die messbaren Schichtdicken liegen zwischen 35 Nanometern und 3 Mikrometern, was die üblichen Schichtdicken von OSP-Beschichtungen von 0,1 bis 0,5 Mikrometern weit übertrifft. Entwickelt wurde das System von K-MAC. Das koreanische Partnerunternehmen von Polytec bietet eine Serie optischer Schichtdickenmesssysteme für die Halbleiterforschung und -industrie, die Display- und die Leiterplattenproduktion an.

Polytec GmbH
www.polytec.de

Unternehmensinformation

Polytec GmbH

Polytec-Platz 1-7
DE 76337 Waldbronn
Tel.: 07243 604-0
Fax: 07243 69944

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