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07.10.2019

Standards für Sauberkeit

Reinigung nach definierten Reinheitsklassen

Die Einteilung von Vakuumkomponenten in Vakuumklassen und von Reinheitsgraden in Sauberkeitsgrade hilft, eine standardisierte Zuverlässigkeit zu gewährleisten.

Für die Herstellung noch kleinerer und schneller prozessierender Bauteile – wie sie etwa in der Halbleiterindustrie oder in Teilchenbeschleunigern zum Einsatz kommen – ist eine garantierte Sauberkeit von Bauteiloberflächen erforderlich. Während des Herstellungsprozesses lassen sich Verunreinigungen der Bauteile nicht vermeiden. In mehrstufigen Reinigungsprozessen gelingt es, partikulare und organische Verunreinigungen bedeutend zu verringern. Um die Sauberkeit der Vakuumkomponenten reproduzierbar zu machen, bedarf es einheitlicher Standards.

Die Vacom Vakuumkomponenten & Messtechnik GmbH mit Sitz in Großlöbichau fertigt Vakuumkomponenten, die auch bei hohen Anforderungen (Ultrahochvakuum, extremes Hochvakuum) eingesetzt werden können. Die systematische Einteilung in Vacom Vacuum Classes bietet die Grundlage für einen Standard der definierten Qualität von Vakuumprozessen. Anhand von garantierten Ausgasraten nach dem Ausheizen werden Vakuumkomponenten aus Edelstahl und Aluminium für unterschiedliche Druckbereiche klassifiziert.

Für eine einheitliche Klassifizierung von Sauberkeitsgraden hat Vacom sogenannte Purity Classes entwickelt. (Quelle: Vacom)

Daneben hat Vacom die sogenannten Vacom Purity Classes entwickelt, um die Sauberkeit und Vakuumtauglichkeit aller Arten von Bauteilen u. a. für Anwendungen im Ultra Clean Vacuum (UCV) zu definieren. Es handelt sich um eine standardisierte und garantierte Oberflächensauberkeit von unterschiedlichem Grad – hinsichtlich Partikeln, organisch­filmischen Verunreinigungen, dem Ausgasverhalten im Vakuum sowie der Abwesenheit bestimmter chemischer Elemente wie Schwermetalle. Die Purity Classes bilden die Voraussetzung dafür, branchenübergreifend ein einheitliches Verfahren für die quantitative Messung der Ausgasrate zu etablieren. Die Sauberkeit garantiert, dass die Bauteile für einen sicheren Prozess im UHV/XHV eingesetzt werden können.

Vacom auf der parts2clean 2019: Halle 9, Stand A29

Vacom

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