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01.10.2002

SRM-50

Schichtwiderstands-Messgerät

SRM-50

SRM-50

Die Messanlage SRM-50 von Nagy dient zur Messung der Schichtdicke und des Schichtwiderstands von leitenden Schichten, wie Metallbeschichtungen auf isolierenden Materialien (Substraten), z.B. Kunststofffolien, Papier, Glasplatten usw. Das berührungslose Messverfahren macht es möglich, die Schichtdicke des aufgedampften Materials bereits während des Fertigungsverfahrens kontinuierlich im Prozess zu messen, ohne die Schicht durch Schleifspuren zu beschädigen. Auch die Messköpfe erleiden keinen Verschleiß. Das System misst den elektrischen Widerstand der leitenden Schicht.

Der Schichtwiderstand der Metallisierung ist eine charakteristische Eigenschaft und häufig aussagekräftiger als dessen Schichtdicke. Nachdem die Messungen fortlaufend stattfinden, ist eine unterbrechungsfreie Messung und Kontrolle der Schichtdicke gewährleistet. Große Fertigungsbreiten können durch mehrere Messköpfe mit mehreren Messkanälen kontrolliert werden. Die Messeinrichtung besteht aus den leicht austauschbaren Messköpfen mit der Trägervorrichtung und dem Messinterface mit serieller Schnittstelle.

Der Standardmessbereich erstreckt sich von 0,5 bis 50Ω/Quadrat. Sondermessbereiche zwischen 0,1 und 1000Ω/Quadrat sind auch möglich. Der Messspalt zwischen den Köpfen beträgt 10mm oder 25mm. Die Messköpfe sind vakuumtauglich und können so auch direkt am Prozess betrieben werden. Für eine laufende Prozesskontrolle stehen die Messwerte über eine RS232-Verbindung ständig zur Verfügung.

Unternehmensinformation

Nagy Meßsysteme GmbH

Siedlerstraße 34
DE 71126 Gäufelden
Tel.: 07032 76670
Fax: 07032 72189

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