nach oben
Meine Merkliste
Ihre Merklisteneinträge speichern
Wenn Sie weitere Inhalte zu Ihrer Merkliste hinzufügen möchten, melden Sie sich bitte an. Wenn Sie noch kein Benutzerkonto haben, registrieren Sie sich bitte im Hanser Kundencenter.

» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.
Ihre Merklisten
Wenn Sie Ihre Merklisten bei Ihrem nächsten Besuch wieder verwenden möchten, melden Sie sich bitte an oder registrieren Sie sich im Hanser Kundencenter.
» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.

« Zurück

Ihre Vorteile im Überblick

  • Ein Login für alle Hanser Fachportale
  • Individuelle Startseite und damit schneller Zugriff auf bevorzugte Inhalte
  • Exklusiver Zugriff auf ausgewählte Inhalte
  • Persönliche Merklisten über alle Hanser Fachportale
  • Zentrale Verwaltung Ihrer persönlichen Daten und Newsletter-Abonnements

Jetzt registrieren
Merken Gemerkt
05.03.2007

SpecEL-2000-VIS

Dünnfilm-Messung auf Knopfdruck

Mikropack, Ostfildern, hat ein kompaktes spektroskopisches Tisch-Ellipsometer für die Dünnfilm-Messung auf den Markt gebracht, das SpecEL-2000-VIS. Es eignet sich laut Hersteller für halbtransparente Proben wie Wafer oder Glasplatten und misst Schichtdicken, Brechungsindex, Absorption und Komponentenverhältnis auf Knopfdruck sekundenschnell und präzise. Das System misst polarisiertes Licht, das von der Oberfläche des Substrats reflektiert wird. Damit können Schichtdicke und Brechungsindex des Materials bestimmt werden. Abhängig von Schicht und Material können Schichtdicken zwischen 1 Nanometer und 5 Mikrometern gemessen werden. Mit der Analyse-Software lassen sich Experimentiermethoden konfigurieren und für eine Ein-Schritt-Analyse speichern. Neben breitbandiger Lichtquelle, Spektrometer und zwei drehenden Polarisatoren gehört ein 32-bit-Windows-PC zur Ausstattung des Geräts.

Im Gegensatz zur Reflektometrie misst die spektroskopische Ellipsometrie statt der absoluten Intensität die relativen Änderungen in der Phase und Amplitude des Lichts. Sie ist daher unabhängig von Referenzmessungen und kann mehrere Parameter gleichzeitig bestimmen.

Unternehmensinformation

Ocean Optics BV

Maybachstr. 11
DE 73760 Ostfildern
Tel.: 0711 341696-0
Fax: 0711 341696-85

Diese Beiträge könnten Sie auch interessieren
Newsletter

Sie wollen immer top-aktuell informiert sein? Dann abonnieren Sie jetzt den kostenlosen Newsletter!

Hier kostenlos anmelden

Beispiel-Newsletter ansehen