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04.06.2009

Software-Bibliothek für Smart Cameras

Kamerageleitete Wafer-Positionierung

Software-Bibliothek für Smart Cameras

Software-Bibliothek für Smart Cameras

Zur kameragestützten Fertigungsüberwachung und Qualitätssicherung in der Solar-Wafer-Herstellung bietet Vision Components, Ettlingen, eine Software-Bibliothek für seine intelligenten Smart Cameras an. Hierfür wurde die Library mit optimierten Positionierfunktionen ausgestattet.

Kameras mit diesem Softwarepaket stellen dem Anwender nach Herstellerangaben eine vollwertige Roboter-Guidance-Lösung zur Verfügung: Die vom integrierten Bildverarbeitungssystem erkannten Positionierungsdaten meldet die Kamera über eine Datenleitung, zum Beispiel eine Ethernet-Verbindung, an den Fertigungsroboter in der Anlage. Dieser kann dann gegebenenfalls nötige Korrekturbewegungen ausführen. Die Messgenauigkeit von deutlich unter 2 µm soll eine hochpräzise Hand-Auge-Koordination ermöglichen. Auch bei mehreren Regionen beziehungsweise Objekten, also ein, zwei, vier oder mehr Wafern im Bild, bleibt laut Hersteller eine Prozesszeit unter 1,0 s gewährleistet. Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit werden demnach selbst durch erschwerte Bedingungen nicht beeinträchtigt, etwa wenn die Siliziumscheiben Zerstörungen im Randbereich aufweisen oder der Bildhintergrund durch wechselnde Helligkeitsverläufe instabil ist. Objektkanten lassen sich nach Stärke und Rechtwinkligkeit sortieren, zusammenhängende Seiten werden von der Smart Camera automatisch geordnet und selektiert. Anhand der gefundenen Kanten lassen sich Objektmittelpunkte und -drehlagen berechnen.

Unternehmensinformation

Vision Components GmbH Ges. f. Bildverarbeitungs- systeme mbH

Ottostr. 2
DE 76275 Ettlingen
Tel.: 07243 2167-0
Fax: 07243 2167-11

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