nach oben
Meine Merkliste
Ihre Merklisteneinträge speichern
Wenn Sie weitere Inhalte zu Ihrer Merkliste hinzufügen möchten, melden Sie sich bitte an. Wenn Sie noch kein Benutzerkonto haben, registrieren Sie sich bitte im Hanser Kundencenter.

» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.
Ihre Merklisten
Wenn Sie Ihre Merklisten bei Ihrem nächsten Besuch wieder verwenden möchten, melden Sie sich bitte an oder registrieren Sie sich im Hanser Kundencenter.
» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.

« Zurück

Ihre Vorteile im Überblick

  • Ein Login für alle Hanser Fachportale
  • Individuelle Startseite und damit schneller Zugriff auf bevorzugte Inhalte
  • Exklusiver Zugriff auf ausgewählte Inhalte
  • Persönliche Merklisten über alle Hanser Fachportale
  • Zentrale Verwaltung Ihrer persönlichen Daten und Newsletter-Abonnements

Jetzt registrieren
Merken Gemerkt
04.10.2010

SemDex F12 Inspektionssystem

Dünne Schichten im Visier

SemDex F12 Inspektionssystem

SemDex F12 Inspektionssystem

Zum genauen Vermessen von Schichtdicken bietet ISIS Sentronics, Mannheim, zwei neue Inspektionssysteme an. Laut Unternehmen wurde das SemDex F12 für Offline-Anwendungen in der Qualitätssicherung für dünne Folien ab 5 µm konzipiert. Das Gerät ist mit dem eigenen Sensorkopf StraDex f2-80 und einem motorisierten x-y-Positionierungstisch ausgestattet, um Schichtdickenprofile vermessen zu können. Nach Herstellerangaben erfasst das System Folien oder beschichtete flache Proben bis zu einer maximalen Fläche von 100 x 100 mm2 . Die SemDex-Serie umfasst außerdem Geräte, die Wafer in der Schichtdicke und anderen Parametern entweder semi- oder vollautomatisch ganzflächig vermessen.

Um während der Produktion oder offline Schichtdicken von Beschichtungen oder Einzelschichten einer Multischicht-Folie zu erfassen, stehen die StraDex-Sensoren zur Verfügung. Wie es beim Hersteller heißt, profitiert der Anwender von präzisen Messungen bei transparenten oder trüben Materialien zwischen 5 und 300 µm Schichtdicke. Aufgrund des kleinen Messflecks von 8 bis 12 µm soll sich der Sensor auch für rauere Oberflächen und unter größerer Winkel-Toleranz verwenden lassen. Der Arbeitsabstand liegt zwischen 2 und 22 mm. Eine weitere StraDex-Variante soll Polymerschichten bis zu 5 µm und Siliziumschichten bis zu 2,5 µm messen. Damit aber nicht genug: Für die jüngste Entwicklung der Serie gibt das Unternehmen sogar mögliche Beschichtungsdicken bis zu wenigen 100 nm unter Produktionsbedingungen an.

Unternehmensinformation

ISIS sentronics GmbH

Innstr. 28
DE 68199 Mannheim
Tel.: 0621 84251-0
Fax: 0621 84251-200

Diese Beiträge könnten Sie auch interessieren
Newsletter

Sie wollen immer top-aktuell informiert sein? Dann abonnieren Sie jetzt den kostenlosen Newsletter!

Hier kostenlos anmelden

Beispiel-Newsletter ansehen