Schichtdickenmessung
Bei der zerstörungsfreien Messung von Schichtdicken stellen komplexe Geometrien mit sehr kleinen Messflächen, engen Radien, Öffnungen und Hohlräumen eine besondere Herausforderung dar. Standard-Sensoren stoßen hier aufgrund ihrer Form und Handhabung schnell an Grenzen. Die Miniatursensoren der Minitest-Serie von Elektrophysik, Köln, wurden eigens für die Messung auf kleinen Flächen in Bohrungen, Nuten und an schwer zugänglichen Stellen entwickelt.
Die Miniatursensoren sind in zwei messtechnischen Varianten erhältlich. Der F-Sensor arbeitet mit dem magnetinduktiven Messverfahren zur Messung unmagnetischer Schichten auf magnetischem Grundmaterial (zum Beispiel Stahl) im Messbereich von 0 bis 0,5 mm. Der N-Sensor arbeitet mit dem Wirbelstromverfahren im Messbereich von 0 bis 0,3 mm und wird zur Messung isolierender Schichten auf NE-Metallen (zum Beispiel Aluminium) eingesetzt.
Spezielle Miniatursensoren in 0 °-, 45 °- oder 90 °-Ausführung messen darüber hinaus dünne Schichten auf kleinsten Oberflächen und in Nuten, Vertiefungen oder Bohrungen.
Der kleinste zulässige Krümmungsradius am Messobjekt beträgt konkav 5 mm, die kleinste Messfläche 3 mm. Für die Messung auf extrem kleinen Messflächen steht ein Präzisionsstativ zur Verfügung, das reproduzierbar punktgenaues Aufsetzen auf einem fixierten Messobjekt gewährleistet. Als kleinste Substratdicken sind 0,3 mm (F-Sensor) und 40 μm (N-Sensor) angegeben.
Zur kabellosen Messung können die Sensoren mit einem Bluetooth-Adapter verbunden werden und die bereits digital aufbereiteten Messwerte direkt an ein Smartphone oder Tablet übertragen. Die gratis verfügbare Smartest-App (Android und iOS) übernimmt alle Aufgaben eines professionellen Schichtdickenmessgeräts.
ElektroPhysik Dr. Steingroever GmbH & Co KG
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