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04.03.2014

Rohrsensoren für Schichtdickenmessung von Elektrophysik

Schichtdickenmessung in Engstellen ab 10mm

Rohrsensoren für Schichtdickenmessung (Bild: Elektrophysik)

Bei der zerstörungsfreien Messung von Schichtdicken stellen komplexe Geometrien mit engen Radien, Öffnungen und Hohlräumen eine besondere Herausforderung dar. Bei den Rohrsensoren von ElektroPhysik, Köln, speziell für das Messen in Rohren, Bohrungen, Nuten und an schwer zugänglichen Stellen ermöglicht der verkleinerte Messkopf solche Messungen in Engstellen ab 10 mm Durchmesser.

Die Rohrsensoren basieren auf dem Sensor-Integrated Digital Signal Processing (SIDSP) des Herstellers für eine hohe Stabilität und Reproduzierbarkeit der Messungen. Die Sensoren liegen in drei messtechnischen Varianten vor. Der F-Sensor arbeitet mit dem magnetinduktiven Messverfahren zur Messung unmagnetischer Schichten auf magnetischem Grundmaterial im Messbereich von 0 bis 1,5 mm. Der N-Sensor wendet das Wirbelstromverfahren im Messbereich von 0 bis 0,7 mm an und wird zur Messung isolierender Schichten auf NE-Metallen eingesetzt. Der Kombinationssensor vereint beide Messverfahren, wobei die Auswahl des geeigneten Messverfahrens entweder automatisch oder manuell erfolgen kann.

Die Parallelogramm-Aufhängung des Messkopfs soll Winkelfehler verhindern und somit das präzise Aufsetzen des Sensors erleichtern. Dessen Eintauchlänge sowie die Länge des Anschlusskabels lassen sich individuell festlegen. Der kleinste zulässige Krümmungsradius am Messobjekt beträgt konkav 5 mm, die kleinste Messfläche ohne Stativ 10 mm. Als kleinste Substratdicken sind 0,3 mm (F-Sensor) und 40 μm (N-Sensor) möglich.

Die SIDSP-Technik beinhaltet nach Angaben des Herstellers eine präzise digitale Signalgenerierung sowie eine schmalbandige digitale Signalfilterung und Aufbereitung für eine effektive Unterdrückung der Störfrequenzen. Die so aufbereiteten Signale werden digital per Kabel an das Gerät übermittelt, wodurch externe Einflüsse auf die Qualität der Messung ausgeschlossen werden sollen. Um Störeinflüsse durch Leitwertabweichungen zu vermindern, wird beim Rohrsensor eine Leitwertkompensation durchgeführt.

Unternehmensinformation

ElektroPhysik Dr. Steingroever GmbH & Co KG

Pasteurstr. 15
DE 50735 Köln
Tel.: 0221 75204-0
Fax: 0221 75204-67

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