Pyrometerserien Modline 5, Marathon MR und FR
Kontinuierliche Überwachung
Pyrometerserien Modline 5, Marathon MR und FR
Bei der Herstellung von polykristallinem Silizium erlauben die Pyrometerserien Modline 5, Marathon MR und FR von Raytek, Berlin, die berührungslose Temperaturmessung im CVD-Reaktor. Die Zweifarbpyrometer ermitteln die Temperatur laut Hersteller auch bei ungünstigen Sichtverhältnissen sehr genau. Die Geräte zeichnen sich durch eine hohe Auflösung und schnelle Antwortzeit aus und sind mit variabler Fokussierung erhältlich. Dadurch lassen sich nach Firmenangaben selbst kleinste Messflecken an Mehrkristall-Silizium-Stäben messen.
Die Pyrometer Modline 5 und 5R sowie Marathon MR und MM basieren auf dem Ein- oder Zweifarbenmessprinzip und werden bei der Herstellung von Einkristall-Silizium-Wafern eingesetzt. Die integrierte Videofunktion der MM-Serie soll das gleichzeitige Beobachten des Prozesses und die Lagekontrolle des Messflecks ermöglichen. Einige Pyrometer verfügen zudem über Funktionen zur Selbstüberwachung und -kalibrierung.
Raytek GmbH A Fluke Company
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