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08.01.2007

Profilometer P-16 und P-16OF

Für verschiedene Materialien und Oberflächen

Profilometer P-16 und P-16OF

Profilometer P-16 und P-16OF

Die Profilometer P-16 und P-16OF (open frame) von KLA-Tencor Corporation, San Jose, CA/USA, (Vertrieb: L.O.T.-Oriel, Darmstadt) eignen sich laut Hersteller vor allem für die automatische Stufenhöhenmessung, die Bestimmung von Oberflächenformen (Topografie) und die Rauigkeits- und Welligkeitsmessung bei verschiedenen Materialien und Oberflächen.

Die Analyse-Software Apex 2D und Apex 3D basiert auf der Mountains-Technologie von Digital Surf, Besançon/Frankreich, und verfügt über ein interaktives grafisches Nutzer-Interface (GUI) in mehreren Sprachen. Ein Berichtsgenerator ermöglicht nach Herstellerangaben das automatische Erstellen von Mess- und Analyseberichten; die neuesten ISO-Standards sind berücksichtigt und stehen bei der Analyse zur Auswahl. Die bisherige Liste von Parametern für Stufenhöhe, Rauigkeit und Welligkeit wurde erweitert. Stress, Bearing-Ratio, Abstände, Ebenheit, Volumen, Dichte und Peak-Count-Verteilung können berechnet und Toleranzgrenzen für die statistische Prozesskontrolle gesetzt werden.

Sequencing (die automatische Messung an mehreren Stellen eines Messobjekts) gehört zur Standardkonfiguration. Für Anwender mit hohen Anforderungen an Durchsatz und Produktivität steht ein Productivity-Package zur Verfügung: Es umfasst ein 1000-Site-Sequencing-Modul und automatische Mustererkennung.

Die Messkopf-Elektronik wurde weiter verbessert. Der kapazitive Sensor mit seiner geringen Masse gestattet nach eigenen Angaben schnelleres Scannen, eine konstante Auflagekraft während der Messung, wählbare Samplingraten bis 1 kHz, eine bessere Auflösung (sub-Å) und eine bessere Wiederholgenauigkeit.

Unternehmensinformation

LOT-QuantumDesign GmbH

Im Tiefen See 58
DE 64293 Darmstadt
Tel.: 06151 8806-0
Fax: 06151 8966-67

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