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04.10.2007

Positionssensoren PISeca D-510

Dynamische Abstandsmessung

Die drei genauen Positionssensoren PISeca D-510 in Einelektroden-Bauform von Physik Instrumente (PI), Karlsruhe, ermitteln Abstand, Position und Kraft mit Sub-Nanometerauflösung. Kapazitive Sensoren in Einelektroden-Bauform messen hochdynamisch und berührungslos gegen alle elektrisch leitenden Oberflächen. Im Unterschied zu Zweiplatten-Sensoren sind auch große laterale Bewegungen der zu messenden Oberfläche möglich.

Die drei Sensorköpfe sind erhältlich für Messbereiche von 20 bis 500 µm bei einem Abstand zwischen Sensorkopf und Messoberfläche (Messabstand) von 10 µm bis maximal 750 µm. Mit der rauscharmen Auswerteelektronik E-852 beträgt die Auflösung bis 0,2 Nanometer (< 0,001 % des Messbereichs). Dank der integrierten Linearisierungsfunktion wird eine Linearität bis 20 Nanometer erreicht (< 0,1 % des Messbereichs). Aufgrund ihrer dynamischen Bandbreite von 6,6 kHz eignen sich die Sensorsysteme nach Herstellerangaben auch für die dynamische Schwingungsmessung von Maschinen- und Anlagenteilen.

Kapazitive Wegsensoren werden z. B. vom Hersteller selbst in höchstgenauen Nanopositioniersystemen eingesetzt. Einelektroden-Sensoren wie PISeca sind demnach prinzipiell sehr robust sowie temperatur- und langzeitstabil. Die einfache Integration der Sensoren soll durch standardisierte Messköpfe mit LEMO-Steckverbinder sowie Auswerteelektronik mit LED-Messbereichsanzeige erleichtert werden.

Unternehmensinformation

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Auf der Römerstr. 1
DE 76228 Karlsruhe
Tel.: 0721 4846-0
Fax: 0721 4846-1019

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