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01.07.2004

PIcoCube

Für Nanotechnologie-Anwendungen

Der Nanopositionier- und Scantisch PIcoCube von PI, Karlsruhe, eignet sich für Nanotechnologie-Anwendungen. Er ist mit einem leichten und schnellen (durch 10-kHz-Resonanzfrequenz) Dreiachs-Piezoscanner ausgerüstet, dessen Position mit kontaktlosen kapazitiven Positionsmesssystemen geregelt wird. Durch die Regelung wird laut Hersteller eine mehr als 10000fach höhere Linearität als bei den bisher üblichen ungeregelten Piezorohr-Scannern erreicht.
Der Piezo-Tisch bietet eine Auflösung von 50 Pikometer. Das Parallelmetrologie-Feedback ermöglicht eine hohe Bahntreue und Genauigkeit im Raum. Dennoch ist das System mit einer Größe von weniger als 30x30x30mm klein und robust und kann leicht in jeden Aufbau integriert werden.
Anwendungsbeispiele finden sich in der Atom-Mikroskopie, der Mikromanipulation, der Biotechnologie, der Mikro- und Nanomanipulation sowie bei Nano-Imprint, -Metrologie und -Lithographie.

Unternehmensinformation

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Auf der Römerstr. 1
DE 76228 Karlsruhe
Tel.: 0721 4846-0
Fax: 0721 4846-1019

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