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05.02.2004

P733.DD

Hohe Scangeschwindigkeiten

Die Piezo-Mikroskop-Tisch-Serie P733.DD von Physik Instrumente, Karlsruhe, soll die schnellsten Mehrachs-Piezotische für die hochauflösende optische Mikroskopie enthalten. Gewählt wurde ein monolithischer Aufbau mit Parallel-Kinematik, Parallel-Metrologie und kapazitiven Sensoren, um eine bessere Bahntreue im Nanometerbereich zu erzielen. Der Stell- und Scanbereich beträgt bis zu 30x30x10µm mit Auflösungen und Stabilität im Sub-Nanometer-Bereich: Die Auflösung liegt bei <0,3nm, die Ebenheit reicht bis auf <10nm. Die Resonanzfrequenz von über 2kHz für X und Y soll eine Verbesserung von über 400% gegenüber vergleichbaren Tischen darstellen und somit entsprechend höhere Scangeschwindigkeiten ermöglichen. Hierbei soll die Z-Achse noch deutlich schneller sein.

Unternehmensinformation

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Auf der Römerstr. 1
DE 76228 Karlsruhe
Tel.: 0721 4846-0
Fax: 0721 4846-1019

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