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04.08.2009

Optisches Oberflächenmessgerät MicroSpy FT

Optische Messung von Beschichtungen

Optisches Oberflächenmessgerät MicroSpy FT

Optisches Oberflächenmessgerät MicroSpy FT

Für die berührungslose Messung der Schichtdicke hat Fries Research & Technology (FRT), Bergisch Gladbach, das optische Oberflächenmessgerät MicroSpy FT entwickelt. Es misst zerstörungsfrei Beschichtungen, die im sichtbaren und nahinfraroten Spektralbereich transparent und halbtransparent sind. Anwendung findet das Gerät in der Entwicklung und Qualitätssicherung von Produkten der Medizin-, Halbleiter- und Mikrosystemtechnik sowie der Fotovoltaik, Optik und Automobilindustrie.

Das leicht bedienbare Schichtdickenmessgerät ist ein Single-Sensor-Messgerät, das sich laut Hersteller durch hohe Wirtschaftlichkeit und zugleich optimale Leistungsdaten auszeichnet. Mit dem 3D-Schichtdickenmapping-Modus können neben klassischen Punkt- und Profilmessungen auch vollständige Flächenabschnitte einer Beschichtung erfasst werden, um z. B. deren Homogenität zu visualisieren und zu beurteilen. Messen lassen sich freitragende Schichten wie Folien, aber auch Einzel- und Mehrschichtsysteme auf Substraten.

Das Gerät ist mit einem schnellen interferometrischen oder reflektometrischen Schichtdickensensor ausgestattet. Hier kann zwischen neun Varianten mit verschiedenen Lichtquellen, Messfleckgrößen und Dickenmessbereichen gewählt werden. So lassen sich unterschiedliche Materialien und Schichtsysteme von einigen Millimetern bis hin zu wenigen Nanometern Dicke präzise messen. Dabei spielt es keine Rolle, ob freitragende Schichten, wie Folien, oder Einzel- bzw. Mehrschichtsysteme auf einem Substrat gemessen werden sollen. Auch Materialien wie Silizium, die bei sichtbarem Licht nicht transparent sind, lassen sich mit unterschiedlichen Sensoren bestimmen.

Durch die integrierte CCD-Kamera mit Beleuchtung steht ein Live-Kamerabild der Probenoberfläche direkt in der Messsoftware zur Verfügung.

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

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