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02.11.2005

Optisches Inspektionsgerät

Kleine Defekte sicher erkennen

Das optische Inspektionsgerät von Graphikon, Berlin, ist laut Hersteller besonders für Wafer mit Strukturgrößen über 2µm und für Defektgrößen ab 700nm geeignet.

Ein innovativer Anlernalgorithmus, der einen gesamten typischen Wafer zur Bewertung heranzieht, soll die automatische Berücksichtigung prozessbedingter Schwankungen beim Anlernen ermöglichen. Das Ergebnis ist eine sichere und stabile Erkennungsleistung ohne interaktiven Aufwand von der ersten Prüfung an, heißt es bei Graphikon.

Um einen hohen Durchsatz zu erreichen, werden die Bilder in der Bewegung des fahrenden Tischs aufgenommen, was einen spürbaren Zeitgewinn gegenüber dem klassischen bildfeldweisen Abrastern der Wafer bringt. Die Leistungsfähigkeit der Waferinspektion konnte nach eigenen Angaben in der neuesten Generation noch einmal wesentlich verbessert werden.

Die gesteigerte Abbildungsqualität ermöglicht die Auswahl einer geringeren optischen Vergrößerung am Mikroskop bei gleich bleibender Erkennungsleistung. Damit konnte nach Herstellerangaben der Durchsatz des Wafer-Inspektionsgeräts erheblich gesteigert werden. Zusätzlich sind nunmehr auch kleinere Defektgrößen als bisher sicher erkennbar.

Die Probenhalterung und Prüf-Software sind wahlweise für gesägte Wafer auf Folienspannring lieferbar. Die Lösung lässt sich auch in Pick-&-Place-Systeme und in elektrische Prober integrieren. Ein automatisches Waferhandling ist optional erhältlich.

Unternehmensinformation

ISRA VISION Graphikon GmbH

Max-Planck-Straße 3
DE 12489 Berlin
Tel.: 030 421047-00
Fax: 030 421047-50

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