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10.06.2015

Optisches 3D-Sensorsystem Smart von Sensofar

In Produktionssysteme integrieren

Das 3D-Sensorsystem kombiniert konfokale Mikroskopie, Interferometrie und Focus Variation in einem Messkopf.

Optisches 3D-Sensorsystem Smart (Foto: Sensofar)

Sensofar, Terrassa, Spanien bringt ein hochauflösendes optisches 3D-Sensorsystem, Smart, auf den Markt. Es lässt sich nach Herstellerangaben in die automatisierte Produktion, in Inline-Messsysteme und Inline-Prozesssteuerungen integrieren. Der Sensor kombiniert konfokale Mikroskopie, Interferometrie und Focus Variation in einem Messkopf und verfügt über eine intuitive Benutzerschnittstelle.
In Kombination mit einer entsprechenden LED-Lichtquelle (rot, grün, blau oder weiß) soll eine schnelle, nicht invasive Vermessung der 3D-Mikro- und Nanogeometrie von technischen Oberflächen bei einer Oberflächenauflösung bis zu 0,1 nm durchzuführen sein. Oberflächenrauhigkeit, Texturen und Strukturierung sowie Dickenmessung dünner Beschichtungen sollen sich ebenfalls messen lassen.
Abgesehen von einem hochauflösenden, motorisierten Objektivwechsler enthält das Gerät keine beweglichen Teile, die eventuell die Wiederholbarkeit der Messung stören könnten, erklärt die Firma. Bei vollständiger Integration in ein Produktionssystem soll das Messsystem auch zur besseren Prozessoptimierung dienen. Die neu entwickelte Softwareschnittstelle, Sensoscan 6, bietet eine noch intuitivere Benutzeroberfläche und beinhaltet anpassbare Tool-Funktionen sowie neue und leistungsstarke Analysealgorithmen, die speziell für automatisierte Inline-Prozessanwendungen konzipiert sind. Auf alle kann mit der mitgelieferten SDK systemweit leicht zugegriffen werden.
Die Closed-Loop-Funktionalität und die von der Ausrichtung unabhängige Montage sollen für mehr Flexibilität für automatisierte Produktionsprozesse sorgen.
Typische Anwendungen umfassen alle Phasen der Mikrofertigung (EDM, Fräsen oder Laser), automatische optische Inspektion (AOI), 2D- und 3D-Messungen von Halbleitern sowie Oberflächenanalyse (an einem Roboter oder tragbarem Stand) für Automobil-, Display, LED-, Medizintechnik- und CMP-Anwendungen.

Sensofar Metrology
www.sensofar.com

Unternehmensinformation

Sensofar Metrology

Ctra. N-150, km. 14,5
E-08227, TERRASSA
Tel.: +34 93739 89-45
Fax: +34 93786 01-16

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