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02.04.2007

Oberflächenmessgerät MicroGlider

Vom Meter bis zum Nanometer

Das optische Oberflächenmessgerät MicroGlider von FRT, Bergisch Gladbach, vereint verschiedene Messverfahren in einem Gerät. Mit einem Weißlichtinterferometer, einem Rasterkraftmikroskop (AFM) oder einem Atomic Force Acoustic Microscope (AFAM) bestückt, kann das Gerät laut Hersteller vom Meter bis zum Nanometer genau messen und flexibel eingesetzt werden. Nach eigenen Angaben ermöglicht das Weißlichtinterferometer FRT WLI 20 X hochaufgelöste, flächenhafte Topografiemessungen in Sub-Nanometer-Höhenauflösung mit dreidimensionaler Darstellung. Dieser Sensor soll sich für die sekundenschnelle topografische Untersuchung von spiegelnden, rauen oder liquiden Oberflächen eignen.

Parallel zum normalen optischen Topografiesensor kann sowohl der WLI als auch das AFM eingesetzt werden. Bei Bedarf wird in der Übersichtsmessung mit der Steuer-Software eine Stelle ausgewählt, die den Messbereich des AFM bestimmt. Das AFM untersucht dann die Oberflächenstrukturen bis in den Nanometerbereich. Ebenso besteht die Möglichkeit, größere Profile und Flächen zu untersuchen. Jede hochaufgelöste AFM-Messung kann automatisch in den Messbereich des optischen Topografiesensors gebracht werden. So ermöglicht das Messgerät die Kombination der Messbereiche von 600mm in der Ebene mit Auflösungen bis in den Sub-nm-Bereich.

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

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