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14.04.2005

NanoMan II

Höchste Bildauflösung

Das Rasterkraftmikroskop NanoMan II von Veeco Instruments Inc., Woodbury, NY/USA, ist mit einem Hybrid-XYZ-Scanner ausgestattet und hat laut Hersteller die höchste gegenwärtig von großen Labormikroskopen erreichte Bildauflösung. Das Gerät liefert außerdem hochpräzise Kräftekurven und ist für das Graben und Ziehen geeignet. Es hat ein geschlossenes System an allen drei Achsen und unterstützt dadurch auch andere Verfahren wie Nanolithographie, Nanomanipulation und die Visu-alisierung von biologischen und werkstofflichen Anwendungen in einem Gerät. Durch sein Design verursacht es sechsmal geringere Z-Sensor-Geräusche als herkömmliche Rasterkraftmikroskope, heißt es bei Veeco.
Das geschlossene Regelsystem mit Hybrid-XYZ-Kopf garantiert nach Herstellerangaben eine hochpräzise Regelung von Nanomanipulationsprozessen mit hochpräzisen Abtastergebnissen, die unabhängig von X/Y-Achsenversatz und Tastgröße/-winkel sind. Durch eine einzigartige Integralbiegung ist die Z-Achse orthogonal zur X/Y-Ebene angeordnet. Bei diesem mit hochmoderner Technik ausgestatteten System beschränkt sich durch die präzisere Z-Höheneinstellung und Wiederholgenauigkeit die bei herkömmlichen Scannern erforderliche regelmäßige und aufwändige Kalibrierung auf ein Minimum. Das Gerät unterstützt das gesamte Spektrum der Rasterkraftmikroskopie und sämtliche elektronischen Prüfverfahren des Herstellers und bietet so eine hochflexible Abtastlösung für wissenschaftliche Forschungsanwendungen.

Unternehmensinformation

Veeco Instruments GmbH Metrology Group

Dynamostr. 19
DE 68165 Mannheim
Tel.: 0621 84210-0
Fax: 0621 84210-22

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