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01.04.2009

Multisensorisches Oberflächenmessgerät MicroGlider 600

Große Proben nanometergenau messen

Multisensorisches Oberflächenmessgerät MicroGlider 600

Multisensorisches Oberflächenmessgerät MicroGlider 600

FRT Fries Research & Technology, Bergisch Gladbach, hat das multisensorische Oberflächenmessgerät MicroGlider 600 vorgestellt. Dieses eignet sich zum Messen bei der Produktion von großen Bauteilen, wie zum Beispiel Wafern, welche geringen Fertigungstoleranzen unterliegen.

Der Hersteller bietet das Messgerät zusammen mit zirka 25 verschiedenen Sensoren, unterschiedlichen Tischgrößen und einer Software an. Damit will er vielseitig einsetzbare Multisensor-Lösungen für eine Vielzahl von Messaufgaben ermöglichen. Dieses Messsystem soll sich zudem relativ einfach als One-Button-Lösung in bestehende Produktionsabläufe integrieren lassen. Je nach Anzahl der Messpunkte bestimmt das Gerät Ebenheits- und Oberflächendaten wesentlich schneller und präziser als herkömmliche One-Shot-Verfahren wie zum Beispiel Interferometer, so der Hersteller.

Die Positionierungstische von 600 x 600 mm (auf Anfrage bis zu einer Größe von 1,5 x 1,5 m) verfügen über einen berührungslosen Antrieb der Linearmotoren und eine besondere Luftlagerung. Das soll eine hohe Messgenauigkeit ermöglichen und ein deutlich verringertes Höhenrauschen (100 nm auf 600 mm Verfahrweg) zulassen.

Das Gerät wird nicht nur bei der Halbleiterfertigung zur Untersuchung der Ebenheit von großen Glaswafern eingesetzt. Anwendung findet es auch in der Elektronik- und Optikindustrie.

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

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