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27.04.2006

Multi-Sensor-Oberflächenmessgerät

Mit optischen Sensoren kombinierbar

Multi-Sensor-Oberflächenmessgerät

Multi-Sensor-Oberflächenmessgerät

Ein neues Multi-Sensor-Oberflächenmessgerät für die Mikroelektronik hat die FRT Fries Research & Technology GmbH, Bergisch Gladbach, entwickelt. Als besondere Stärke lassen sich mit dem MicroProf verschiedene optische Sensoren für die Messung von Topographie, Profilen, Rauheit oder Schichtdicke kombinieren. Zusätzlich kann das Gerät mit Rasterkraft-mikroskopie ausgestattet werden. Alle Messaufgaben sind voll automatisierbar. Das Messfeld beträgt 200 x 200 mm, bei Bedarf lässt sich das Gerät aber auch für größere Messbereiche auslegen.

Durch die komplett gehäuste Ausführung eignet sich das Gerät für Produktionsumgebungen und für staubfreie Bereiche: Die Probe wird von den Umgebungsbedingungen nicht beeinflusst. Konzipiert ist das Gerät insbesondere für Mikroelektronik, Elektronik und Leiterplattentechnik. Auch Hersteller von Reglertechnik und Automobilelektronik haben laut Anbieter Interesse signalisiert. Dabei bietet es sich für Aufgaben in der Qualitätskontrolle und Entwicklung, Wareneingangskontrolle und Schadensanalyse an.

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

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