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30.04.2007

Multi- Sensor -Koordinatenmessgerät Altera nano

Mit Nano-Auflösung

Multi- Sensor -Koordinatenmessgerät Altera nano

Multi- Sensor -Koordinatenmessgerät Altera nano

Ausgestattet mit einem optischen Sensor mit fester Brennweite und dem Mycrona-WhitePoint-Sensor lässt sich das Multi-Sensor-Koordinatenmessgerät (KMG) Altera nano von Mycrona, Saarwellingen, für die Qualitätskontrolle mikromechanischer und nanostrukturierter Bauteile einsetzen.

Der WhitePoint-Sensor leitet weißes Licht durch eine verbundene Fasersonde zur Teileoberfläche, wo es reflektiert und eingekoppelt wird. Mittels Weißlicht-Heterodyn-Interferometrie wird das Weißlicht verschiedener Wellenlängen ausgewertet, sodass das System eine Tiefenauflösung kleiner 1 nm erreicht. Für schnelle Messwertaufnahmen bei gleichzeitig hoher Fokussier-und Abbildungsgenauigkeit kommt die Festoptik mit hochauflösenden Wechselobjektiven (bis 50 X) als Standard-Messsensor zum Einsatz.

Das Portalmessgerät der Ultra-High-Accurancy-Klasse verfügt über einen temperaturstabilen und verwindungssteifen Hartgestein-Aufbau. Die Luftlager an allen Achsen, das voll digitalisierte Antriebssystem und Schwingungsdämpfer sollen ein schnelles und präzises Messen garantieren. Eingesetzt wird das Gerät in allen Bereichen des Mikro- und Nano-Engineerings.

Unternehmensinformation

Hexagon Metrology Vision GmbH Optiv Division

Otto-Hahn-Str. 1
DE 66793 Saarwellingen
Tel.: 06838 9931-0
Fax: 06838 9931-599

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