nach oben
Meine Merkliste
Ihre Merklisteneinträge speichern
Wenn Sie weitere Inhalte zu Ihrer Merkliste hinzufügen möchten, melden Sie sich bitte an. Wenn Sie noch kein Benutzerkonto haben, registrieren Sie sich bitte im Hanser Kundencenter.

» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.
Ihre Merklisten
Wenn Sie Ihre Merklisten bei Ihrem nächsten Besuch wieder verwenden möchten, melden Sie sich bitte an oder registrieren Sie sich im Hanser Kundencenter.
» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.

« Zurück

Ihre Vorteile im Überblick

  • Ein Login für alle Hanser Fachportale
  • Individuelle Startseite und damit schneller Zugriff auf bevorzugte Inhalte
  • Exklusiver Zugriff auf ausgewählte Inhalte
  • Persönliche Merklisten über alle Hanser Fachportale
  • Zentrale Verwaltung Ihrer persönlichen Daten und Newsletter-Abonnements

Jetzt registrieren
Merken Gemerkt
01.06.2006

MSA-400 Micro System Analyzer

MEMS-Dynamik- und -Topographie

MSA-400 Micro System Analyzer

MSA-400 Micro System Analyzer

Der MSA-400 Micro System Analyzer der Polytec GmbH, Waldbronn, wurde weiterentwickelt. Das Gerät verbindet laut Hersteller die dynamische und die geometrische Messtechnik zur Bestimmung wichtiger Kenngrößen von MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) wie Form, Höhenprofile, Rauheit, kritische Dimensionen sowie Resonanzfrequenzen, Dämpfung, Einschwingverhalten, Schwingformen, und Abklingzeiten.

Der MSA misst nach Herstellerangaben berührungslos und rückwirkungsfrei die Dynamik von Mikrosystemen. Über die integrierte und optimierte Mikroskop-Optik erfasst er mit dem Verfahren der scannenden Laser-Doppler-Vibrometrie die Bewegungen der Struktur aus der Bauteilebene heraus (Out-of-Plane). Ebenso erfasst das Gerät die Bewegungen in der Bauteilebene mittels stroboskopischer Videomikroskopie und digitaler Bildverarbeitung.

Zusätzlich können nun auch 3D-Topographie-Messungen mit dem Verfahren der Weißlicht-Interferometrie zum Erfassen der Struktur von rauen und auch spiegelnden Oberflächen durchgeführt werden, heißt es bei Polytec. Die Messung erfolgt laut Hersteller berührungslos und damit rückwirkungs- und zerstörungsfrei. Darüber hinaus ist demnach keine spezielle Präparation der Oberfläche erforderlich.

Das Gerät ist kompatibel zu den MEMS-Probern führender Hersteller und nach eigenen Angaben sowohl für den effizienten Einsatz im Entwicklungslabor als auch für Kontrollmessungen im Produktionsbereich geeignet.

Unternehmensinformation

Polytec GmbH

Polytec-Platz 1-7
DE 76337 Waldbronn
Tel.: 07243 604-0
Fax: 07243 69944

Diese Beiträge könnten Sie auch interessieren
Newsletter

Sie wollen immer top-aktuell informiert sein? Dann abonnieren Sie jetzt den kostenlosen Newsletter!

Hier kostenlos anmelden

Beispiel-Newsletter ansehen