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20.04.2011

Miniaturinterferometer der Serie SP-DIS

Kleiner Sensorkopf

Miniaturinterferometer der Serie SP-DIS

Miniaturinterferometer der Serie SP-DIS

Die differenziellen Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektoren der Serie SP-DIS von Sios, Ilmenau, sind Längenmesssysteme, die eine hohe Genauigkeit zulassen. Sie eignen sich zum Vermessen und Kalibrieren von Spiegeloberflächen, zur genauen Parallelitätsmessung sowie zum Messen gegen feste Referenzen. Durch das optische Wirkprinzip der differenziellen Interferometer ist das Messergebnis von der Lage des Sensorkopfs weitgehend unabhängig. Die Interferometer sind geometrisch und funktionell anpassbar und können dank des kleinen Sensorkopfs auch als fest installiertes Messsystem eingesetzt werden.

Als Messreflektor lassen sich Planspiegel oder reflektierende Oberflächen mit optischer Qualität verwenden. Der Messreflektor kann im Bereich von Winkelminuten zur optischen Achse des Messstrahls verkippt werden, ohne die Funktion zu beeinträchtigen. Entsprechend der Größe der reflektierenden Fläche kann das Messobjekt senkrecht zur Messbewegung auswandern. Bei einer Auflösung von 0,1 nm beträgt der Messbereich der Interferometer laut Hersteller 2 m.

Ein Lichtwellenleiter führt das Laserlicht dem Sensorkopf zu, woraufhin die Interferometer die Abstandsänderung der parallelen Messflächen in ein Interferenzsignal umwandeln. Das interferenzoptische Signal wird zur optoelektronischen Versorgungs- und Auswerteeinheit übertragen und als Messergebnis zur Verfügung gestellt. Die Bedienung und Anzeige erfolgen über einen PC mit optionaler Software.

Unternehmensinformation

SIOS Meßtechnik GmbH

Am Vogelherd 46
DE 98693 Ilmenau
Tel.: 03677 6447-0
Fax: 03677 6447-8

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