Mikroskop MicroScope WLI
Für die Entwicklung
MicroScope WLI heißt das optische Oberflächenmessgerät von FRT, Bergisch Gladbach. Auf Basis eines
optischen Mikroskops bietet es einen 4-fach-Objektivrevolver und ein Weißlichtinterferometer für zerstörungsfreies Messen. Damit sollen sich Rauheits-, Stufenhöhen-, Profil- und 3D-Messungen an Oberflächen mit extremer Höhenauflösung schnell und einfach durchführen lassen. Das Gerät verfügt über einen motorisierten Tisch mit 100 x 100 mm Verfahrweg. Der axiale Messbereich beträgt 400 µm. Der 4-fach-Objektivrevolver ist mit einem piezoelektrischen Objektivversteller ausgestattet. Durch eine Auswahl an Objektiven lassen sich verschiedene Messfeldgrößen und Auflösungen realisieren. Konzipiert ist das Gerät insbesondere für F&E-Abteilungen und Universitäten.
FRT Fries Research & Technology GmbH
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