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28.04.2004

Mikrointerferometer

Einbaulängenmesssystem

Mikrointerferometer

Mikrointerferometer

Mikrointerferometer. Das Mikrointerferometer der Sios Messtechnik GmbH, Ilmenau, ist als hochgenaues Einbaulängenmesssystem konzipiert. Zur Anwendung kommen diskrete mikrooptische Bauteile und mikrosystemtechnische Aufbau- und Verbindungstechnologien sowie eine Lichtwellenleiterkopplung. Dadurch hat der Sensorkopf kompakte Abmessungen von 28x25x15,5mm und wiegt nur 35g. Das Messsystem verfügt über einen Messbereich von 5m bei einer Auflösung von bis zu 1nm.

Durch das kompakte Design, die Lichtwellenleiterkopplung und den geringen Justageaufwand finden die Mikrointerferometer überall dort Anwendung, wo höchste Präzision und Stabilität der Längenmessung verbunden mit geringen Einbaumaßen gefordert werden.

Unternehmensinformation

SIOS Meßtechnik GmbH

Am Vogelherd 46
DE 98693 Ilmenau
Tel.: 03677 6447-0
Fax: 03677 6447-8

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