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08.01.2007

Mikro-Prüfkörper

Für immer kleinere Bauteile

Mikro-Prüfkörper

Mikro-Prüfkörper

Die Messung von Mikrobauteilen ist eine neue metrologische Herausforderung in der modernen Produktionstechnik. Zur Beurteilung der verwendeten Messsysteme hat die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig, Mikro-Prüfkörper entwickelt, für die je nach Messprinzip eine Kalibrierunsicherheit für Abstände und Radien von bisher 0,5µm erreicht wurde.

Die verschiedenen Mikro-Prüfkörper weisen für die Antastung mit taktilen und optischen Sensoren kooperative Oberflächen auf bzw. sind durch ihre Volumeneigenschaften (z.B. Röntgenabsorbtion) röntgentomografisch messbar. Bei ihrer Herstellung wurden unterschiedliche Fertigungsverfahren wie Draht- und Senkerosion oder Diamantdrehen eingesetzt. Teilweise mussten die Oberflächen nachträglich z.B. durch Laserbearbeitung strukturiert werden, um messtechnisch geeignete Oberflächen zu erzielen.

Vergleichsmessungen mit verschiedenen taktilen und optischen Mikrosensoren an einem Mikro-Konturnormal ergaben laut Hersteller Übereinstimmungen von teilweise besser als 1µm für Abstände und Radien. Mit der Entwicklung der Mikro-Prüfkörper und der zugehörigen Kalibrierverfahren ist jetzt ein entscheidender Schritt hin zu einem qualifizierten Vergleich unterschiedlicher Sensoren und deren Rückführung im Mikrobereich gelungen, so die PTB. Teilweise konnten die Prüfkörper im Rahmen von Firmenkooperationen in die Industrie transferiert werden.

Unternehmensinformation

Physikalisch-Technische Bundesanstalt - PTB

Bundesallee 100
DE 38116 Braunschweig
Tel.: 0531 592-3005
Fax: 0531 592-3008

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