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05.07.2010

MicroSpy Topo DT

Messen unterschiedlich strukturierter Oberflächen

MicroSpy Topo DT

MicroSpy Topo DT

Das MicroSpy Topo DT von FRT, Bergisch Gladbach, kombiniert ein Spinning-Disc-Konfokalmikroskop mit einem Weißlicht-Interferometer. Laut Hersteller lassen sich damit sowohl minimal als auch stärker strukturierte Proben berührungslos, zerstörungsfrei und binnen weniger Sekunden mit Mikro- und Nanometerauflösung messen.

Konzipiert wurde das optische Messgerät für die Forschung, Produktentwicklung und die begleitende Produktionskontrolle beispielsweise zum Messen von Rauheit, Kontur und 3D-Topografie. Minimal strukturierte Probenoberflächen wie Linsen, Glas oder Wafer misst das Weißlicht-Interferometer im Phase-Shift-Modus. Die 3D-Topografie soll dabei mit Subnanometer-Auflösung in weniger als 10 Sekunden in einem Bildfeld von bis zu 7,1 x 5,3 mm2 großflächig erfasst werden. Anschließend ist sie Ausgangspunkt für weitere hochpräzise Geometrie-, Rauheits- oder Ebenheitsanalysen am Messcomputer. Im Mirau-Modus wird der maximale Interferenzkontrast einer Fokusebene ausgewertet, sodass sich auch stärker strukturierte Oberflächenstrukturen zuverlässig dreidimensional messen lassen, so der Hersteller.

In das integrierte Konfokalmikroskop können sämtliche Objektive für die Lichtmikroskopie eingesetzt werden, beispielsweise Long-Distance-Objektive für große Arbeitsabstände. Dank eines Objektivrevolvers nimmt das Messgerät gleichzeitig bis zu sechs Objektive auf, die sich laut Hersteller durch einfaches Drehen schnell wechseln lassen. Die Positionierung der Proben erfolgt per motorisiertem Verfahrtisch und CCD-Kamera.

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

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