nach oben
Meine Merkliste
Ihre Merklisteneinträge speichern
Wenn Sie weitere Inhalte zu Ihrer Merkliste hinzufügen möchten, melden Sie sich bitte an. Wenn Sie noch kein Benutzerkonto haben, registrieren Sie sich bitte im Hanser Kundencenter.

» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.
Ihre Merklisten
Wenn Sie Ihre Merklisten bei Ihrem nächsten Besuch wieder verwenden möchten, melden Sie sich bitte an oder registrieren Sie sich im Hanser Kundencenter.
» Sie haben schon ein Benutzerkonto? Melden Sie sich bitte hier an.
» Noch kein Benutzerkonto? Registrieren Sie sich bitte hier.

« Zurück

Ihre Vorteile im Überblick

  • Ein Login für alle Hanser Fachportale
  • Individuelle Startseite und damit schneller Zugriff auf bevorzugte Inhalte
  • Exklusiver Zugriff auf ausgewählte Inhalte
  • Persönliche Merklisten über alle Hanser Fachportale
  • Zentrale Verwaltung Ihrer persönlichen Daten und Newsletter-Abonnements

Jetzt registrieren
Merken Gemerkt
06.07.2011

MicroProf 200 TTV MHU

Vollautomatische Waferinspektion

MicroProf 200 TTV MHU

MicroProf 200 TTV MHU

MicroProf 200 TTV MHU heißt das Oberflächenmessgerät von Fries Research & Technology, Bergisch Gladbach. Es ist vollständig in den Produktions-Workflow integriert und prüft Wafer mit einem Durchmesser von 2 bis 8 Zoll. Damit lassen sich beidseitig die absolute Dickenvariation (TTV) der Proben sowie Ebenheit, Bow, Warp, Rauheit, 3D-Topografie und Schichtdicke messen. Auch bei den Bearbeitungsschritten Sägen, Schleifen, Läppen und Polieren sowie im Wareneingang wird es eingesetzt. Ein zweiarmiger Vakuum-Greifarm legt die Wafer aus bis zu vier Kassetten automatisch an die Messposition.

Das Gerät wird zur vollautomatischen Überwachung der Produktionsparameter und damit zur Qualitätssteigerung bei der Waferherstellung und in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Laut Hersteller sollen auch spezielle Anwendungen wie die Messung von Thin Wafern, gebondeten und getapten Wafern aus Silikon oder von Verbindungshalbleitern möglich sein.

Unternehmensinformation

FRT Fries Research & Technology GmbH

Friedrich-Ebert-Straße 75
DE 51429 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204 842430
Fax: 02204 842431

Diese Beiträge könnten Sie auch interessieren
Newsletter

Sie wollen immer top-aktuell informiert sein? Dann abonnieren Sie jetzt den kostenlosen Newsletter!

Hier kostenlos anmelden

Beispiel-Newsletter ansehen