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04.10.2006

Messsystem CHRocodile IT

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Messsystem CHRocodile IT

Messsystem CHRocodile IT

Das Messsystem CHRocodile IT von Precitec Optronik, Rodgau, kann laut Hersteller Silizium berührungslos und mit nur einem Sensor durchleuchten sowie Wafer und Chips bis zu einer Dicke von 1mm vermessen. Auch lässt sich demnach die Schichtdicke von transparenten Folien bis zu einer Stärke von 2,5mm erfassen. Dabei erfolgt die hochgenaue Dickenmessung nach eigenen Angaben von nur einer Seite.

Hintergrund dieses zerstörungsfreien Messverfahrens ist ein interferometrisch arbeitender Sensor, der nicht, wie üblich, mit Weißlicht, sondern mit Infrarotlicht arbeitet. Aufgrund der um einiges helleren Messstelle kann laut Hersteller die Messgeschwindigkeit verfünffacht und der Messbereich auf einen Luftspalt von 3,5mm verzehnfacht werden. Die Messeinrichtung lässt sich durch ihren robusten und einfachen Aufbau direkt in den Produktionsprozess integrieren. Die erfassten Messwerte stehen in einer Excel-Dokumentation zur Verfügung.

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