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27.04.2009

Messsensor CHRocodile MI5

Siliziumdicke an fünf Messstellen

Der Messsensor CHRocodile MI5 von Precitec, Rodgau, ist die Weiterentwicklung des CHRocodile-IT-Sensors zur berührungslosen Schichtdicken- und Abstandsmessung bei der Halbleiter-Herstellung. Er erfasst die Siliziumdicke an bis zu fünf Messstellen gleichzeitig.

Der Sensor hat einen modularen Aufbau und bietet dadurch eine Alternative zur mehrkanaligen Vermessung von Wafern und Solarzellen. Wofür früher fünf einzelne CHRocodile-IT-Sensoren benötigt wurden, genügt jetzt ein vollbestückter CHRocodile MI5.

Durch das robuste Messverfahren kann die Dickenmessung zum Beispiel direkt inline über einem laufenden Förderband erfolgen. Der Messabstand zum Objekt ist dabei variabel. 4000 Punktmessungen pro Sekunde werden mit einer Genauigkeit von bis zu 70 nm verarbeitet. Selbst glänzende und wellige EFG-Wafer beziehungsweise String-Ribbon-Produkte werden nach Angaben des Herstellers erfasst. Eine nachträgliche Kalibrierung des Sensors ist nicht notwendig. Alle Messwerte können direkt in Echtzeit via USB- oder RS232/RS422-Schnittstelle ausgelesen werden.

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