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02.11.2004

Messroboter

In-process-Kalibrierung

Messroboter

Messroboter

Die Messroboter zur Maß- und Form- sowie Lage- und Oberflächenmessung von microspace, Chemnitz, sind mit Multisensor-Messköpfen bestückt, welche bis zu zehn verschiedene Messverfahren realisieren. Zudem sind die Messroboter mit automatischen Kalibriereinrichtungen ausgestattet. Dafür werden Tiefen-, Rillen und Lateralnormale aus Silizium eingesetzt, die das Unternehmen gemeinsam mit der TU Chemnitz entwickelte. Dies sind komplex gestaltete, chipähnliche Normale, die alle erforderlichen geometrischen Kalibrierstrukturen enthalten und für berührende wie auch optische Messverfahren eingesetzt werden.
Die Normale werden aus reinen, strukturell perfekten, einkristallinen Silizium-Wafern mit Hilfe hochpräziser mikrotechnologischer Ätzverfahren hergestellt.

Silizium ist als Werkstoff für Maßverkörperungen hervorragend geeignet. Der kleine Wärmeausdehnungskoeffizient soll in Kombination mit der hohen Wärmeleitfähigkeit und -kapazität homogene und stabile Abmessungen garantieren. Silizium ist durch seine dichte Oxidschicht sicher passiviert und korrosionsbeständig. Die relativ hohe Härte garantiert Kratz- und Verschleißfestigkeit. Diese Eigenschaften erlauben den Vor-Ort-Einsatz ohne Temperieren. Die Normale lassen sich für mehrere Messverfahren, Messbereiche und dreidimensionale Messungen verwenden.

Sowohl Höhe und Breite des Walles und der Grube als auch die 90°- und 55°-Flankenwinkel und die Skala können als Maßverkörperung dienen. Das Spektrum an Tiefennormalen umfasst Nominaltiefen von 0,05 bis 1000µm.

Unternehmensinformation

Microspace GmbH Mess- und Sensortechnik

Otto-Schmerbach-Str. 19
DE 09117 Chemnitz
Tel.: 0371 26629-0
Fax: 0371 26629-18

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