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02.04.2003

MCS CCD

MCS-Spektrometer

MCS CCD

MCS CCD

Neben den bewährten MCS (Multi Channel Spectrometer)- und MMS (Monolithic Miniature Spectrometer)-Modulen mit Photodiodenarray-Empfänger von Zeiss gibt es die MCS nun auch mit CCD-Detektoren, die durch eine echte UV-Empfindlichkeit charakterisiert sind. Das MCS CCD zeichnet sich durch eine sehr hohe Lichtempfindlichkeit aus, so dass die Module überall dort von besonderem Vorteil sind, wo schwache Lichtsignale detektiert werden müssen. Das ist z.B. bei Fluoreszenzmes-sungen in der Mikroskopie und speziellen Schichtdickenmessugen in der Halbleiterindus-trie der Fall.

Die neuen Module sind in den beiden Versionen UV für den Spektralbereich von 200nm bis 600nm und UV-NIR für 200nm bis 980nm erhältlich. Die kompakte und robuste Art der Module bietet alle Vorteile der bewährten MCS-Spektralsensoren wie thermische Stabilität und Unempfindlichkeit gegen Erschütterungen. Kernstück ist ein geblazetes Flat-Field-Gitter für die Lichtdispersion und die Abbildung. Aus der Gesamtanordnung ergibt sich ein spektraler Pixelabstand von 0,8nm/Pixel. Damit wird eine spektrale Auflösung kleiner als 3nm nach dem Rayleigh-Kriterium erreicht.

Den optischen Eingang bildet ein SMA-Stecker mit integriertem 500-µm-Faserquerschnittswandler. Alle beschriebenen optischen Teile sind in einem Keramikkörper fest verklebt. Durch diese Technologie ist die Wellenlängenstabilität der Spektrometer-Module besser als 0,1nm.

Unternehmensinformation

Carl Zeiss MicroImaging GmbH Spektralsensorik

Carl-Zeiss-Promenade 10
DE 07743 Jena
Tel.: 03641 64-2038
Fax: 03641 64-2485

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