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04.07.2007

Laserscan - Farbmikroskope VK

2D/3D-Messungen im Sub-Mikrobereich

Laserscan-Farbmikroskope VK

Laserscan-Farbmikroskope VK

Die 2D/3D-Laserscan-Farbmikroskope von Keyence, Neu-Isenburg, kombinieren den Komfort eines herkömmlichen optischen Mikroskops mit den Vorzügen eines Rasterelektronenmikroskops (REM) und den Analysefunktionen eines Oberflächen-/Rauheitsmessgeräts. Das Topmodell VK-9700 bietet eine maximale Auflösung von 0,001µm (=1Nanometer) und ermöglicht dadurch Vergrößerungen bis zum 18000-Fachen. Das Standardmodell VK-8700 verfügt über eine Messauflösung von 0,01µm und eine maximale Vergrößerung bis zum 12000-Fachen.

Beide Geräte verwenden sowohl eine kurzwellige Laserlichtquelle als auch eine weiße Lichtquelle zur Beleuchtung. Mithilfe der kurzwelligen Laserlichtstrahlen wird die Lage jedes Peaks sowie die Intensität des reflektierten Lichts erfasst. Informationen über Farbe, Lichtintensität und Höhe für scharfe, farbige, lichtintensive und relieforientierte Bilder können durch den gleichzeitigen Einsatz beider Lichtquellentypen gewonnen werden.

Der Laserstrahl kommt aus einer punktförmigen Lichtquelle. Das Farbmikroskop tastet seinen Betrachtungsbereich mithilfe des optischen X-Y-Scansystems ab und rastert die Bilder dabei mit einer Auflösung von 1024x768 Pixel. Das Lichtempfangselement erkennt das von jedem einzelnen Pixel reflektierte Licht. Durch Verschieben des Objektivs entlang der Z-Achse und wiederholtes Scannen Lage für Lage wird für jede Z-Position die Intensität des reflektierten Lichts erfasst. Daraus werden dann Höheninformationen gewonnen, die Lichtintensität wird erfasst, und gleichzeitig wird auf die Z-Position für die Intensität des reflektierten Lichts fokussiert. Somit erfasst das 3D-Laserscan-Farbmikroskop Daten zur Generierung von omnifokalen Lichtintensitätsbildern mit großer Tiefenschärfe sowie für Vertikalbilder, heißt es bei Keyence.

Das von der weißen Lichtquelle stammende reflektierte Licht wird mit einer CCD-Kamera erkannt. Die CCD-Kamera erfasst Pixel für Pixel die Farbinformationen an dem mit der Laserlichtquelle ermittelten Peak (Brennpunkt). Die beiden Farbmikroskope ermöglichen daher Betrachtungen in Echtfarben, wozu REMs oder Oberflächen-/ Rauheitsmessgeräte laut Hersteller nicht in der Lage sind. Für den Anwender bedeutet dies, dass er ohne jegliche Vorbereitung farbige räumliche Betrachtungen und Analysen im Sub-Mikrobereich mit hoher Präzision durchführen kann.

Unternehmensinformation

Keyence Deutschland GmbH

Siemensstr. 1
DE 63263 Neu-Isenburg
Tel.: 06102 3689-0
Fax: 06102 3689-100

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