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27.04.2009

Kombination aus Vibrometer und Mikroskop

Schwingungsmessung an Mikrostrukturen

Kombination aus Vibrometer und Mikroskop

Kombination aus Vibrometer und Mikroskop

Sios, Ilmenau, kombiniert ein fasergekoppeltes, laserinterferometrisches Vibrometer mit einem technischen Mikroskop. Mit dem Mikroskopaufbau lässt sich laut Hersteller das dynamische Verhalten und die statische Auslenkung von Mikrostrukturen wie zum Beispiel MEMS und Cantilevern messen.

Das Messobjekt ist in einem Bereich von 50 x 50 mm oder 100 x 50 mm mithilfe eines XY-Tischs positionierbar und kann durch eine USB-Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv lässt sich auswechseln; 10- und 50-fache Vergrößerung ist möglich. Bei Verwendung des 50-fach-Objektivs beträgt der Laserspotdurchmesser < 2 µm. Die erreichbare Auflösung des laserinterferometrischen Vibrometers liegt mit 0,1 nm im Subnanometerbereich.

Zum Erfassen und Darstellen der Messdaten wird eine spezielle Software verwendet. Diese ermöglicht eine Scriptsteuerung sowie das Scanning von Oberflächenstrukturen.

Typische Anwendungsgebiete sind zum Beispiel das Messen von Schwingungsamplituden und das Bestimmen von Resonanzfrequenzen und Schwingungsmoden der Mikroobjekte.

Unternehmensinformation

SIOS Meßtechnik GmbH

Am Vogelherd 46
DE 98693 Ilmenau
Tel.: 03677 6447-0
Fax: 03677 6447-8

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