Kalibrierinterferometer von Sios

In 5 Freiheitsgraden messen

Die Kalibrierinterferometer von Sios, Ilmenau, mit einem Längenmessbereich von mindestens 15 m sind nach Angaben des Herstellers für hochgenaue Län-gen-, Winkel- und Geradheitsmessungen an Maschinen- und Positionierachsen konzipiert. Damit soll eine synchrone, kontinuierliche 5 DOF-Messung (Freiheitsgrade) möglich sein, wobei die horizontalen und vertikalen Geradheitskomponenten durch eine schwenkbare Optik wechselweise gemessen werden können. Neben dem Sensorkopf gehört die Reflektoreinheit, der Geradheitsspiegel und eine 90 °-Strahlumlenkung zum Interferometeraufbau. Es sollen damit neben horizontalen Achsen auch vertikale Achsen vermessen werden können.

Die Längenmessung hat bei einem Messbereich von 15 m eine Auflösung von 0,1 nm. Die Winkelauflösung beträgt 0,01 arcsec über einen Nick-und Gierwinkelbereich von ± 5 °. Die laserinterferometrische Geradheitsmessung ist über einen Bereich von ± 4 mm mit einer Auf-lösung von 10 nm in einem Axialbereich von 6,5 m möglich.

Der lichtwellenleitergekoppelte Sensorkopf soll durch eine integrierte Strahlrichtungsdetektion problemlos, schnell und präzise zu justieren sein.

Kalibriersoftware entsprechend den aktuell gültigen Normen inklusive Korrekturmodul von verschiedenen Maschinensteuerungen stehen dem Anwender zur Verfügung. Der Mess- und Kalibriervorgang mit dem Kalibrierinterferometer soll sich mit einer Positioniersteuerung syn-chronisieren lassen. Umfangreiche Möglichkeiten zur galvanisch getrennten Triggerung des Systems erlauben laut Firma eine Steuerung der Messwertaufnahme. Die Übertragung der Messwerte erfolgt über eine schnelle USB-Schnittstelle zu einem Laptop oder Rechner. Wei-tere Interfacevarianten sind auf Wunsch erhältlich.

Anwendungsgebiete der Kalibrierinterferometer sind die simultane Erfassung von fünf Frei-heitsgraden an Führungen und die Kalibrierung von Hochpräzisionsachsen an Mess- und Werkzeugmaschinen sowie Koordinatenmessgeräten.

Einfache Handhabung und simultane Messgrößenerfassung ergeben eine wesentliche Zeit-ersparnis im Zusammenhang mit verbesserten messtechnischen Parametern gegenüber herkömmlichen Methoden.