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01.07.2004

Interferometrischer Radienmessplatz

Sphärische Optiken messen

Für die hochpräzise Vermessung der Radien von sphärischen Optiken bietet ZygoLOT, Darmstadt, einen neu entwickelten Messaufbau, den interferometrischen Radienmessplatz, an. Hervorzuheben ist die direkte Messung auf der optischen Achse. Diese Anordnung vermeidet laut Hersteller Abbé-Fehler und erreicht so eine Messunsicherheit im µm-Bereich. Ermöglicht wird dies durch den Einsatz eines Zygo-ZMI-Längenmessinterferometers zur Ermittlung der Distanz zwischen Fokuspunkt und konfokaler Position. Die Messauflösung beträgt 10nm.
Der Radienmessplatz wird als Aufrüst-Bausatz angeboten und arbeitet mit allen Zygo-Fizeau-Interferometern zur Formprüfung von optischen Oberfächen zusammen. Das Kit besteht aus einem Laserkopf, der Interferometer-Optik, den erforderlichen Justierhaltern, einer PC-Karte zur Kommunikation und Auswertung sowie einer Führungsschiene.
Die Signalübertragung vom Interferometer zum Messboard erfolgt störungsfrei mittels optischer Glasfaserkabel. Durch Integration in die Mess- und Auswerte-Software MetroPro werden die Ergebnisse der Oberflächenmessung mit in die Radiuskalkulation einbezogen. Diese Kombination aus interferometrischer Oberflächenmessung und interferometrischer Längenmessung soll eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit ermöglichen.

Unternehmensinformation

Ametek Germany GmbH Abteilung Zygo

Rudolf-Diesel-Straße 16
DE 64331 Weiterstadt
Tel.: 06150 543-1161
Fax: 06150 543-1500

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