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04.07.2007

Interferometer Talysurf CCI 9150

Halbleiteroberflächen stabil vermessen

Interferometer Talysurf CCI 9150

Interferometer Talysurf CCI 9150

Das Coherence-Correlation-Interferometer Talysurf CCI 9150 von Taylor Hobson, Wiesbaden, eignet sich zum Vermessen von Halbleiteroberflächen. Das Design des Weißlicht-Interferometers mit nur wenigen optischen Komponenten und einer aktiven Schwingungsdämpfung soll eine gleichmäßig ausgeleuchtete und stabile Vermessung der Probe ermöglichen. Somit lassen sich laut Hersteller Konturen im Sub-Nanometerbereich genauestens analysieren.

Durch Integration einer sogenannten Ultra-Low-Noise-Kamera mit > 4 Millionen Pixeln kann die Empfindlichkeit des Geräts so weit erhöht werden, dass nach Herstellerangaben auch eine Untersuchung komplexer, schwach reflektierender Oberflächen möglich ist. Somit lässt sich bei einem Noise Floor Z von 0,02nm ein Spatial Sampling Intervall von 0,13µm erzielen. Neben seiner Genauigkeit bei der Phasenbestimmung und der präzisen Kontrolle des vertikalen Messbereichs trägt der schnelle CCI-Algorithmus außerdem zu einem kosteneffizienten Probendurchsatz bei, heißt es bei Taylor Hobson.

Das Interferometer wurde für Klasse-1-Reinräume entwickelt und ist ESD-kompatibel. Es genügt den SOP39- und SEMI-Anforderungen. Das Gerät kommt in der Hard-Disk-Drive- und Halbleiter-Fertigung sowie in der Grundlagenforschung und angewandten Optik zum Einsatz.

Unternehmensinformation

AMETEK GmbH

Rudolf-Diesel-Str. 16
DE 40670 Meerbusch
Tel.: 02159 9136-0
Fax: 02159 913680

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